ERUN-SZ3系列在线监测仪落地宜昌生产基地 助力G5级湿电子化学品品质升级

近日，国内湿电子化学品领军企业湖北兴福电子材料股份有限公司与我司正式达成合作，ERUN-SZ3-A5水质溶解氧在线监测仪、ERUN-SZ3-A4H水质氢电导率在线监测仪顺利入驻其宜昌生产基地，将为G5级电子级硫酸、G3级电子级磷酸等高端湿电子化学品的全流程生产水质管控提供精准数据支撑，共同筑牢半导体材料国产化的品质根基。

对标顶格标准 国产监测方案脱颖而出

湿电子化学品作为芯片制造过程中不可或缺的清洗剂、蚀刻液，其纯度直接决定下游晶圆制造的良率，而超纯水作为贯穿合成、清洗、稀释全流程的核心介质，水质管控的重要性不言而喻。水中哪怕仅存在ppb级的溶解氧或阳离子杂质，都可能导致产品氧化变质、电性能不达标，给客户造成巨额损失。兴福电子此次扩产项目瞄准国际最高等级标准，对生产全流程的水质监测精度、设备长期稳定性、数据可追溯性提出了近乎苛刻的要求，设备选型阶段先后比对了多家国内外主流供应商的产品。

针对兴福电子的超纯水监测场景，我司技术团队多次上门实地调研，结合其现有DCS控制系统对接需求定制了专项解决方案。其中ERUN-SZ3-A5溶解氧在线监测仪采用荧光法检测原理，无膜无电解液，彻底解决了传统电化学法需要频繁校准、易受流速干扰的痛点，最低检出限可达0.01μg/L，能够精准捕捉超纯水管道中微量溶解氧的细微波动，从源头规避氧气对电子化学品的氧化风险；ERUN-SZ3-A4H氢电导率在线监测仪搭载自动氢柱再生技术，可实现24小时连续稳定监测，测量精度达±0.5%FS，能够快速识别水中微量阳离子污染，为工艺调整提供分钟级响应数据。经多轮现场实测比对，我司两款设备在连续运行稳定性、极端工况适应性上均表现优异，最终从众多竞品中脱颖而出，成功中标。

稳定运行获认可 共绘国产替代新图景

目前两台设备已完成安装调试并正式投用，监测数据实时接入兴福电子中央控制系统，实现异常情况自动预警。据现场反馈，设备投用以来保持零故障运行，数据准确率达100%，在大幅降低人工巡检频次的同时，为高端产品良率提升筑牢了第一道防线。兴福电子技术负责人在验收时表示：“水质监测看似是生产辅助环节，实则关乎整条产线的产品等级。此次合作让我们切实看到了国产仪器在高端场景的技术突破，设备运行的稳定性超出了我们的预期，也为我们后续推进全产线设备国产化替代增添了信心。”

此次合作是我司高端水质监测仪器打入半导体核心供应链的重要里程碑。长期以来，半导体级水质监测设备市场被欧美品牌长期垄断，我司始终坚持自主研发路线，先后攻克低浓度溶解氧抗干扰检测、氢电导率温度补偿算法等多项核心技术，产品已广泛应用于光伏、新型显示、半导体等高端制造领域。我们深知，国产替代从来不是某一家企业的单打独斗，而是产业链每一个环节的每一次微小突破汇聚而成的底气。未来，我司将继续秉持"精准监测、护航智造"的理念，持续优化产品性能，携手兴福电子等产业链伙伴共同推进半导体材料国产化进程，为我国高端制造业高质量发展贡献可靠的监测力量。